全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)
時(shí)間:2023-04-24瀏覽量:207
產(chǎn) 品 說 明 特點(diǎn):1.支持多尺寸晶圓:3\4\5\6\8\12英寸2.設(shè)定參數(shù)均可調(diào)整3.參數(shù)設(shè)定修改均可通過觸摸屏實(shí)現(xiàn)4.客戶模式均可自由更改5.工作盤轉(zhuǎn)速范圍:0-3000轉(zhuǎn)/分鐘性能:工作盤馬達(dá) 交流感應(yīng)馬達(dá)擺臂馬達(dá) 交流伺服馬達(dá)干燥方式 旋轉(zhuǎn)清洗方式 二流體清洗顯示 …