產 品 說 明 

全自動UV解膠機（  Fully automatic UV Curing System）性能及特點：

AV-DUV300是一款全自動晶圓UV解膠機帶Frame自動進出料盒的UV解膠設備，該設備兼容12”以下帶Frame的wafer，且無需治具更換。

技術參數：

膜種類: UV膜

晶圓規格： 12寸以下晶圓 

照射光源: 光源UVLED燈珠，波長可選。

照射光照度:50-500MW/cm2

照度檢測：照度點檢探頭

裝卸方式: 自動進出料盒,標準配置為一個料盒

生產效率：≥90PCS/H（UV解膠時長10秒）

晶圓承載系統:固定位密閉腔體

產品定位:定位框架

貼標系統：解膠完成自動打標已解膠

運行系統：上下運動+前后運動

電力供應: 單相交流電220V,3KW

壓縮空氣壓力: 0.3～0.6Mpa

氮氣壓力：0.3～0.6Mpa

氮氣流量：10-50L/min

安全運行：工作中蓋子上鎖無法打開，報警燈蜂鳴。

WINDOWS+PLC程序：編輯多組解膠時長及光源照度大小

SECS/GEM：可選